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產(chǎn)品中心
六氟化硫
包裝：10L、15、40
純度：99.995%（4.5N）
凈重：10kg、20kg、50kg
產(chǎn)品詳情
| 項(xiàng)目名稱 | 純度指標(biāo)（%） | ||
| 六氟化硫 | ≥99.999 | ≥99.99 | |
| 雜質(zhì)含量（ppm） | 空氣（Air） | ≤5 | ≤30 |
| 水（H20） | ≤1 | ≤1 | |
| 四氟化碳（CF4） | ≤4 | ≤30 | |
| 酸度（Acidity） | ≤0.1 | ≤0.1 | |
| 可水解氟化物（以HF計(jì)） | ≤0.1 | ≤0.2 | |
| 礦物油（Mineral oil） | ≤0.5 | ≤0.5 | |
產(chǎn)品用途：在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源，不會(huì)產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品；變壓器中的絕緣介質(zhì)；金屬冶煉中的保護(hù)氣氛；六氟化硫斷路器、互導(dǎo)傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體；電子級(jí)高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域；作為光導(dǎo)纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑；作為大氣污染監(jiān)測(cè)和水文地質(zhì)檢測(cè)領(lǐng)域的示蹤劑；肝臟腫瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途。
