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產(chǎn)品中心
三氟化氮
包裝規(guī)格：17L、44L
外觀：在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體
純度(%)：99.99%
熔點(diǎn)：-206.8°C
沸點(diǎn)：-129°C
臨界溫度：-39.3°C
臨界壓力：4.46Mpa
產(chǎn)品詳情
| 項(xiàng)目名稱 | 純度指標(biāo)（%） | |
| 三氟化氮 | ≥99.99 | |
| 雜質(zhì)含量（ppm） | 氮?dú)猓∟2） | ≤5 |
| 氧氣+氬氣（O2+Ar） | ≤3 | |
| 二氧化碳（CO2） | ≤5 | |
| 一氧化碳（CO） | ≤1 | |
| 四氟化碳（CF4） | ≤40 | |
| 水（H2O） | ≤1 | |
| 六氟化硫（SF6） | ≤5 | |
| 氟化氫（HF） | ≤1 | |
| 氧化亞氮（N2O） | ≤5 | |
產(chǎn)品用途：NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無污染。
